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半导体零部件的主要分类
这种分类方式可将半导体零部件分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。
发布时间：
2024-07-26
半导体零部件是半导体设备的关键构成，据不完全统计，目前行业里关于半导体零部件的种类划分尚未形成标准，目前主要有以下分类方法。
按典型集成电路设备腔体内部流程分类
这种分类方式可将半导体零部件分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。
①电源和射频控制类：包括射频发生器和匹配器、直流/交流电源等；
②气体输送类：包括流量控制器、气动部件、气体过滤器等；
③真空控制类：包括干泵/冷泵/分子泵等各种真空泵、控制阀/钟摆阀等各类阀件、压力计以及O-Ring密封圈；
④温度控制类：包括加热盘/静电吸盘、热交换器及升降组件；
⑤传送装置类：包括机械手臂、EFEM、轴承、精密轨道、步进马达等。
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2024-07-26
